服部 正 | 兵庫県大
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概要
関連著者
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服部 正
兵庫県大
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服部 正
兵庫県立大学 高度産業科学技術研究所
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服部 正
兵庫県立大学
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服部 正
兵庫県大 高度産業科技研
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野田 大二
兵庫大
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野田 大二
兵庫県立大学
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野田 大二
兵庫県立大学高度産業科学技術研究所
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瀬戸本 勝
兵庫県立大学高度産業科学技術研究所
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松本 吉史
兵庫県立大学高度産業科学技術研究所
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佐和 吉敬
佐和鍍金工業(株)
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山下 健治
(株)ナノクリエート
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山下 健治
兵庫県立大学高度産業科学技術研究所ナノマイクロシステム研究室
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北谷 武
佐和鍍金工業(株)
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瀬戸本 勝
兵庫県立大学
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大岡 昌博
名大院
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瀬戸 本勝
兵庫県立大学
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山下 健治
兵庫県立大
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大岡 昌博
名大情
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糸魚川 貢一
(株)東海理化技術開発センター開発部マイクロシステム開発室
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大岡 昌博
名大院情
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野島 悠
名大情報
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服部 正
兵庫大
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植田 寛康
東海理化
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松永 卓也
名大院情院
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徳岡 篤
兵庫県立大学
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大岡 昌博
名古屋大学大学院情報科学研究科
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内海 裕一
兵庫県立大学 高度産業科学技術研究所
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内海 裕一
兵庫県大 高度産技研
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岸本 武文
兵庫県立大学 高度産業科学技術研究所
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岸本 武文
兵庫県大
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銘苅 春隆
兵庫県大
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銘苅 春隆
独立行政法人 産業技術総合研究所 先進製造プロセス研究部門
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山下 満
兵庫県立工業技術センター
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山西 陽子
東北大学
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服部 正
(株)デンソー 基礎研究所
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新井 史人
東北大学
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新井 史人
東北大
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百生 敦
東大新領域
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鳴海 圭亮
東北大学大学院工学研究科
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林 育菁
東北大学原子分子材料科学高等研究機構
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我妻 大策
東北大学
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廣田 雅彦
東北大
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糸魚川 貢一
(株)東海理化
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矢代 航
東大新領域
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武田 佳彦
東大新領域
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WAN Keshu
東大新領域
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矢代 航
物材機構ナノマテ:産総研ナノテク
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内海 裕一
NTT基礎技術総合研究所
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山下 修平
兵庫県立大学
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木村 哲平
JFEファインテック
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香取 めぐみ
(株)ナノクリエート
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木村 太郎
兵庫県立大
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佐和 吉敬
兵庫県立大
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山下 健治
佐和鍍金工業
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山下 満
Hyogo Prefectural Institute of Technology
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野田 大二
University of Hyogo
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出井 一義
中西金属工業(株)新規事業室
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北谷 武
佐和鍍金(株)
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佐和 吉敬
佐和鍍金(株)
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糸魚川 貢一
東海理化電機製作所
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内海 裕一
兵庫県立大学
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福田 義博
姫工大工
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光本 直樹
(株)デンソー
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金山 斉
(株)デンソー
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井戸垣 孝治
(株)デンソー
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大岡 昌博
名大情報
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百生 敦
東大院新領域
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上野 洋
東海理化
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福田 義博
Niro
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植田 寛康
姫工大
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瀧口 欣司
姫工大
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池崎 洋次
ナガセケムテックス
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服部 正
姫工大
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Utsumi Yuichi
Laboratory Of Advanced Science And Technology For Industry University Of Hyogo
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服部 正
表五台
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糸魚川 貢一
東海理化
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百生 敦
東大新領域創成
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野島 悠
日立
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新井 史人
名古屋大
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内海 裕一
兵庫県立大
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新井 史人
名古屋大学大学院工学研究科マイクロ・ナノシステム工学専攻
著作論文
- 高アスペクト比コイルを用いた電磁型マイクロアクチュエータ(第20回「電磁力関連のダイナミクス」シンポジウム)
- 放射光による大面積微細加工システム(OS10 次世代アクチュエータのマイクロ・ナノ加工)
- 二層ニッケル電鋳法による高硬度マイクロ金型の作製(機械要素,潤滑,設計,生産加工,生産システムなど)
- エッチングによる表面微細加工
- 4330 医療用マイクロデバイスの基礎研究 : バイオプシー用マイクロデバイスを有する外骨格型マイクロアーム(S69-1 医療ロボット(1),S69 医療ロボット)
- X線透過格子を用いた位相イメージング装置開発
- MEMSプローブの作製と機械特性評価 ([日本設備管理学会]20周年記念大会特集論文)
- 微細電鋳金型による高機能導光板の作製とLED照明用途への展開
- 2901 高アスペクト比マイクロコイルの作製と評価(J20-1 次世代アクチュエータシステム(1),J20 次世代アクチュエータシステム)
- 2312 二層ニッケル電鋳法による高硬度微細金型の作製(マイクロメカニズム,一般講演)
- 2311 カーボン基板を用いたX線マスクの開発(マイクロメカニズム,一般講演)
- 117 多層ニッケル電鋳による高強度金型の作製(材料の超精密加工とマイクロ/ナノ加工の動向)
- UV-LIGAプロセスによる導光板の開発
- 慣性駆動型マイクロマニピュレータの機構と駆動方法
- 3210 オプティカルフローに基づく光導波形触覚センサの三軸力計測(J22-2 次世代アクチュエータシステム(2),ジョイントセッション,21世紀地球環境革命の機械工学:人・マイクロナノ・エネルギー・環境)
- J1101-1-1 電磁型マイクロアクチュエータ用マイクロコイルの作製(次世代アクチュエータシステム)
- 3203 マイクロコイルの作製と電磁型アクチュエータへの展開(J22-1 次世代アクチュエータシステム(1),ジョイントセッション,21世紀地球環境革命の機械工学:人・マイクロナノ・エネルギー・環境)
- 1301 電磁型マイクロアクチュエータの作製と評価(マイクロアクチュエータ,一般講演)
- 116 LIGAプロセスによる微細ラインマイクロコイルの作製(材料の超精密加工とマイクロ/ナノ加工の動向)
- 2902 3次元X線リソグラフィ及びメタライズによる円筒型コイルを用いた電磁駆動型アクチュエータの作製(J20-1 次世代アクチュエータシステム(1),J20 次世代アクチュエータシステム)
- 電磁型マイクロアクチュエータ用マイクロコイルの製作
- 1307 誘電体ナノ粒子を用いた小型静電容量式傾斜センサの開発(OS5/OS7-1 ライフサポート/マイクロメカトロニクス(1))
- 426 放射光による微細 3 次元加工 : 3 次元 X 線マスク
- 3次元微細加工技術の現状と展望
- J1103-1-4 オプティカルフローを利用した光導波形触覚センサ([1103-1]次世代アクチュエータシステム)
- T1601-2-4 カーボンウェハを用いた大面積X線マスクの作製([T1601-2]マイクロナノメカトロニクス(2))
- 1206 ICPエッチング法による高アスペクト比微細構造体の作製(アクチュエータのためのマイクロナノプロセス,一般講演)
- 1210 オプティカルフローに基づく光導波形触覚センサの試作(触覚センサ・触覚ディスプレイ,一般講演)