徳岡 篤 | 兵庫県立大学
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概要
関連著者
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服部 正
兵庫県立大学
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野田 大二
兵庫県立大学
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徳岡 篤
兵庫県立大学
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服部 正
兵庫県立大学 高度産業科学技術研究所
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服部 正
兵庫県大
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服部 正
兵庫県大 高度産業科技研
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野田 大二
兵庫大
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服部 正
兵庫県立大学 高度産業科学技術研究所
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野田 大二
兵庫県立大学 高度産業科学技術研究所
著作論文
- ICPエッチングによる微細構造体を用いた金構造体の作製
- T1601-2-4 カーボンウェハを用いた大面積X線マスクの作製([T1601-2]マイクロナノメカトロニクス(2))
- 1206 ICPエッチング法による高アスペクト比微細構造体の作製(アクチュエータのためのマイクロナノプロセス,一般講演)
- J161022 ICPエッチング技術による微細高アスベクト比X線格子の作製([J16102]マイクロナノメカト口ニクス(2))