SEM-DICMによる3次元積層チップの熱ひずみ計測に基づく非線形有限要素解析精度の評価・改善(<特集>次世代電子機器を支える三次元積層技術と先端実装の設計・評価技術論文)
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概要
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有限要素法のような数値解析法が電子実装の信頼性評価に頻繁に使われている.しかし,非線形材料を多数含む電子実装部の解析精度を確保するのは容易ではない.本研究では,三次元積層模擬チップの加熱時の熱ひずみ分布を,実測と解析の両面から評価した.まず,走査型電子顕微鏡にディジタル画像相関法を適用して熱負荷時のひずみ計測を行った.次に樹脂材のポアソン比の粘弾性挙動を考慮して非線形有限要素解析を行ったが,実測と整合性のある結果を得られなかった.そこでナノインデンテーションによって構成材料の物性を取得し,非線形有限要素法解析の精度改善を行った.
- 2013-11-01
著者
-
宮崎 則幸
京都大学大学院工学研究科
-
宮崎 則幸
九州大学大学院工学研究院化学工学部門
-
宮崎 則幸
京大
-
松本 圭司
日本アイ・ビー・エム株式会社東京基礎研究所
-
田中 宏之
住友ベークライト(株)
-
宮崎 則之
京大工
-
Miyazaki Noriyuki
Tokyo Metropolitan Industrial Technology Research Institute Komazawa Office
-
畑尾 卓也
住友ベークライト(株)
-
山田 文明
Ibm東京基礎研
-
松本 圭司
超先端電子技術開発機構
-
山田 文明
超先端電子技術開発機構
-
折井 靖光
超先端電子技術開発機構
-
小原 さゆり
超先端電子技術開発機構(ASET)
-
畑尾 卓也
住友ベークライト (株) 基礎研究所
-
池田 徹
鹿児島大学大学院理工学研究科
-
岡 大智
京都大学大学院工学研究科
-
田中 宏之
住ベリサーチ株式会社
-
嘉田 守宏
超先端電子技術開発機構
-
小原 さゆり
超先端電子技術開発機構
-
宮崎 則幸
京都大学大学院
-
嘉田 守宏
超先端電子技術開発機構(ASET)
-
松本 圭司
超先端電子技術開発機構(ASET)
-
池田 徹
鹿児島大学
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