5-6 電荷蓄積型シリコンマイクロホンの試作(第5部門 情報センシング)
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
Toward an ultraminiature high-performance microphone for next generation, we are studying a silicon electret condenser microphone. Recently we investigated etching and electric characteristics of silicon nitride/oxide electret film, and determined deposition condition of the nitride film. We also developed a fabrication process of electret transducer. A prototype transducer showed sufficiently flat frequency response in audio frequency range.
- 一般社団法人映像情報メディア学会の論文
- 2010-08-31
著者
-
後藤 正英
NHK放送技術研究所
-
萩原 啓
NHK放送技術研究所
-
安野 功修
財団法人小林理学研究所
-
児玉 秀和
財団法人小林理学研究所
-
樹所 賢一
リオン株式会社
-
田島 利文
NHK放送技術研究所
-
児玉 秀和
小林理学研
-
樹所 賢一
リオン(株)
-
安野 功修
小林理学研
-
井口 義則
NHKエンジニアリングサービス
-
井口 義則
日本放送協会放送技術研究所新機能デバイス研究部
関連論文
- 軟X線照射を用いたシリコンマイクロホン電荷蓄積技術の開発(センサーデバイス,MEMS,一般)
- 低電圧動作シリコンマイクロホン (情報センシング)
- 低電圧動作シリコンマイク ('07[NHK]技研公開 講演・研究発表特集号)
- 高性能シリコンマイクロホンの周波数特性改善および動作電圧低減に向けた要素技術の開発
- シリコンマイクの高域特性の改善
- 放送用コンデンサ型シリコンマイクロホンの試作
- コンデンサ型シリコンマイクロホンの開発
- 固体HARP用CMOSイメージセンサの固定パターン雑音低減(画像入出力および一般)
- 固体HARP用高S/N信号読み出し回路 (超高感度撮像技術特集号)
- パルス出力型広ダイナミックレンジCMOSイメージセンサの検討(高機能イメージセンサ)
- 5-1 可変しきい値を用いたリニア出力型広ダイナミックレンジ撮像デバイス
- 固体HARP用CMOS信号読み出し回路の高S/N化
- 固体HARP用高S/N信号読み出し回路の検討
- 24-6 団体HARP用高S/N信号読み出し回路検討
- HARP膜積層CMOS撮像素子の積層技術
- 10-3 HARP膜積層CMOSイメージセンサのプロセス開発
- HARP膜積層CMOSイメージセンサの設計とプロセス開発
- HARP膜積層CMOSイメージセンサの評価
- グラニュラー化した触媒薄膜によるグラファイトナノファイバFEDの電子放出特性改善
- グラニュラー化した触媒薄膜によるグラファイトナノファイバFEDの電子放出特性改善(ディスプレイに関する技術全般:LCD(バックライトを含む),PDP,有機/無機EL,CRT,FED,VFD,LEDなどのディスプレイに関するデバイス,部品,材料及び応用技術,発光・非発光型ディスプレイ合同研究会)
- グラファイトナノファイバーを用いた5インチフルカラーFED
- グラファイトナノファイバーを用いた5インチフルカラーFED(ディスプレイに関する技術全般 : LCD(バックライトを含む), PDP, 有機/無機EL, CRT, FED, VFD, LEDなどのディスプレイに関するデバイス, 部品・材料及び応用技術, 発光型/非発光型ディスプレイ合同研究会)
- 超小型・高性能シリコンマイクロホンの開発
- シリコンマイクロホンの試作と音響特性評価
- 12-3 HARP膜積層CMOSイメージセンサの試作
- グラファイトナノファイバーを用いた5インチフルカラーFED
- グラファイトナノファイバを用いた冷陰極ディスプレイの基礎検討(画像変換技術)
- グラファイトナノファイバを用いた冷陰極ディスプレイの基礎検討
- 42形ハイビジョンDC-PDPの開発
- 1)40インチハイビジョンPDPの製作プロセス(情報ディスプレイ研究会 : 発光型/非発光型ディスプレイ合同研究会)
- 40インチハイビジョンPDPの製作プロセス
- 3次元微細加工技術を利用したマイクロホン : シリコンマイクロホン(マイクロホン開発における各種技術分野の動向)
- HARP積層型CMOS撮像素子用Au画素電極の形成(映像入出力および一般)
- HARP積層型CMOS撮像素子用Au画素電極の形成
- HARP膜積層CMOS撮像素子の積層技術
- HARP膜積層CMOSイメージセンサの設計とプロセス開発
- 高感度固体撮像素子の実現に向けたMOSFETの高耐圧化
- 8)アバランシェ増倍膜積層型イメージセンサ用MOSトランジスタの高耐圧化
- アバランシェ増倍膜積層型イメージセンサ用MOSトランジスタの高耐圧化
- アバランシェ増倍膜積層型イメージセンサ用MOSトランジスタの高耐圧化
- アバランシェ増倍膜積層型イメージセンサ用MOSトランジスタの高耐圧化
- アバランシェ増倍膜積層型イメージセンサ用MOSトランジスタの高耐圧化
- 固体HARP用CMOS信号読み出し回路の高S/N化
- 固体HARP用高S/N信号読み出し回路の検討
- 電荷蓄積型シリコンマイクの実現に向けた軟X線照射によるエレクトレットの作製 (特殊情報入力デバイス技術特集号)
- 軟X線照射によるシリコンマイクロホン用エレクトレットの作製
- M5-2 シリコンエレクトレットコンデンサマイクロホンの実現に向けた無機エレクトレット膜および着電技術の開発(M5 アクチュエータ/フィジカルセンサ)
- 固体HARP用CMOSイメージセンサの固定パターン雑音低減
- シリコン振動膜の音波による励振状態の観測
- シリコンチップ上に電気音響変換素子を構成するマイクロホンの検討
- 面放電形AC-PDPの放電発光断面解析
- 面放電形AC-PDPの放電発光断面解析
- 18)16型ガス放電カラー表示パネル(〔テレビジョン電子装置研究会(第80回)画像表示研究会(第37回)〕合同)
- 16型ガス放電カラー表示パネル
- 4)ガス放電形カラー表示パネルの試作とその問題点(画像表示研究会(第24回))
- 10)走査放電付きメモリーパネルの検討(-画像変換装置-)((テレビジョン電子装置研究会(第84回)画像表示研究会(第42回))合同)
- 走査放電付きメモリーパネルの検討
- 40インチハイビジョンPDPの製作プロセス
- 超小型・高性能シリコンマイクロホン(ICマイク)の開発 ('02技研公開 講演・研究発表特集号)
- MNM-3B-7 電荷蓄積型シリコンマイクロホンの試作と特性評価(セッション 3B 情報・精密機器におけるマイクロ・ナノテクノロジー2)
- F115 振動発電器のための垂直エレクトレット膜への軟X線荷電に関する研究(OS1 マイクロエネルギー変換),動力エネルギーシステム部門20周年,次の20年への新展開)
- 無機エレクトレットを用いた電荷蓄積型シリコンマイクロホン
- 5-9 シリコンマイクロホンの振動膜応力低減(第5部門 情報センシング1)
- 17-13 シリコンマイクロホンの低電圧化に向けた振動膜薄膜化技術(第17部門 情報センシング2)
- 22-1 超小型シリコンマイクロホンの高域特性の改善(第22部門 イメージセンサI)
- 13-9 放送用超小型シリコンマイクロホンの開発(第13部門 情報センシング)
- 14-6 高精細FED用ダブルゲートFEA(第14部門 情報ディスプレイ2)
- 7-5 軟X線照射によるシリコンマイクロホン用エレクトレット作製技術の開発(第7部門 センシング&ストレージ)
- 8-1 コンデンサ型シリコンマイクロホンの信頼性試験(第8部門 センシング)
- 9-6 FED用グラファイトナノファイバの構造解析 : 電界放出特性の改善を目指して(第9部門 情報ディスプレイ2)
- 3-8 デマウンタブル装置による超高精細FED用冷陰極の評価(第3部門 ストレージ&ディスプレイ&センシング&コンシューマエレクトロニクス)
- 無機エレクトレットを用いた電荷蓄積型シリコンマイクロホン
- 軟X線照射によるシリコンマイクロホン用エレクトレットの作製
- 無機エレクトレットを用いた電荷蓄積型シリコンマイクロホン
- 2-10 X線および真空紫外線照射を用いたMEMS振動発電器用エレクトレット荷電法(第2部門 情報ディスプレイ,マルチメディアストレージ,コンシューマエレクトロニクス,情報センシング)
- 14-5 低電圧動作電荷蓄積型シリコンマイクロホンの開発(第14部門情報センシング)
- 2-5 バッテリーレス無線リモコンの番組制作技術への応用(第2部門 放送現業)
- 5-6 電荷蓄積型シリコンマイクロホンの試作(第5部門 情報センシング)
- 3J6-1 多孔性ポリプロピレンの水中用超音波トランスデューサへの応用(生体医用超音波,海洋音響)
- シリコンマイクで広がる新しい音の世界(楽のものづくり)
- 11-3 撮像デバイスの3 次元集積化に向けた要素技術の開発(第11部門 情報センシング,情報ディスプレイ)
- MP-21 環境振動発電器のためのX線光電離を用いたエレクトレット荷電法(ポスターセッション)