F115 振動発電器のための垂直エレクトレット膜への軟X線荷電に関する研究(OS1 マイクロエネルギー変換),動力エネルギーシステム部門20周年,次の20年への新展開)
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概要
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A novel charging method for vertical electrets in narrow gaps using soft X-rays has been developed. Electrets can be charged up to the depth 20〜30 times of the gap opening. With the present charging technology, MEMS electret transducers can be fabricated using a single wafer approach without any assembling process. We demonstrate performance of vertical electrets using early prototype of in-plane generator. Under 18.7μm_<p-p> external oscillation at 500 Hz, 30 mV output has been obtained without external bias voltage. Surface potential for 80 μm-deep vertical electrets is estimated to be 52 V.
- 2010-06-20
著者
-
本泉 真人
東京大学大学院工学系研究科
-
鈴木 雄二
東京大学大学院工学系研究科
-
田島 利文
NHK放送技術研究所
-
鈴木 雄二
東大工
-
鈴木 雄二
東京大学 大学院 工学系研究科
-
田島 利文
NHK技研
-
本泉 真人
東大工
-
萩原 啓
NHK技研
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