E224 乱流能動制御用マイクロ電歪アクチュエータの開発(E-22 乱流現象の制御,一般講演)
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概要
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A micro synthetic jet actuator driven by a MEMS electrostrictive diaphragm actuator was developed for active turbulence control. Metal spiral electrodes were employed in order to obtain a large out-of-plane deformation. Keeping the electrode gap/width ratio constant, the magnitude of deformation is increased with decreasing the gap. As large as 5.6% deformation is achieved at an electric field of 75V/μm. It is found that the deformation can be divided into four modes depending on the driving frequency.
- 日本流体力学会の論文
- 2004-08-09
著者
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