2-10 X線および真空紫外線照射を用いたMEMS振動発電器用エレクトレット荷電法(第2部門 情報ディスプレイ,マルチメディアストレージ,コンシューマエレクトロニクス,情報センシング)
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概要
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We examined the charging characteristics of electrets using X-rays and vacuum UV irradiation for MEMS power generator. Surface potential increases as X-ray irradiation time and the charging rate varies for introduced gas species. VUV can form electrets within 2 sec due to the generation of large amount of ions/electrons.
- 2011-12-21
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