E116 環境振動発電に用いるMEMSエレクトレット発電器の開発(OS1 マイクロエネルギー変換)
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概要
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A vibration-driven electret generator has been developed. By using parylene as the spring material, a low-resonant-frequency MEMS generator is realized. Large in-plane amplitude of 0.5 mm at the resonant frequency as low as 21 Hz has been achieved. Electrostatic levitation is adopted for the gap control. Electrostatic repulsive force is stably induced with translational and rotational alignment error of 1.2 mm. With our early prototype, we have obtained output power of 0.375 μW.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2009-06-28
著者
-
三木 大吾
東京大学大学院工学系研究科
-
鈴木 雄二
東京大学大学院工学系研究科
-
笠木 伸英
東京大学大学院工学系研究科
-
笠木 伸英
東大工
-
鈴木 雄二
東大工
-
鈴木 雄二
東大
-
枝元 真人
東大院
-
三木 大吾
東大院
-
笠木 伸英
東大・大学院工学系研究科
-
笠木 伸英
科学技術振興機構研究開発戦略センター
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