OS1-1 大変形MEMS振動構造を有したエレクトレット発電器の開発(OS1 マイクロエネルギー変換,循環型社会における動力エネルギー技術)
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概要
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A numerical model of electret power generator has been developed. Computational results with the present model are in good agreement with our previous experimental data. It is also found that in-plane electrostatic force is almost constant and 0.1-0.2N irrespective to the oscillation direction. Parylene seismic structures with embedded electrode have also been macrofabricated. It is demonstrated that large-amplitude oscillation at low-resonant frequency can be achieved with almost constant electrical conductivity.
- 社団法人日本機械学会の論文
- 2007-06-13
著者
-
鈴木 雄二
東京大学大学院工学系研究科
-
笠木 伸英
東京大学大学院工学系研究科
-
笠木 伸英
東大工
-
鈴木 雄二
東大工
-
堤野 匠
東大院
-
柏木 王明
旭硝子
-
森澤 義富
旭硝子
-
鈴木 雄二
東大
-
笠木 伸英
東大・大学院工学系研究科
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