マイクロエネルギーシステムに向けたMEMS技術の展開(低電圧/低消費電力技術,新デバイス・回路とその応用)
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概要
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マイクロマシン技術(MEMS)で製作されるデバイスの中で,高付加価値のマイクロエネルギー変換に関連するものはPowerMEMSと呼ばれ,MITで研究が行われた500円玉大のガスタービンに端を発する.ごく最近,Power MEMS分野のなかで,環境に存在する希薄なエネルギーから電力を得る,エナジー・ハーベスティング(Energy Harvesting)にも注目が集まっている.本稿では,これらのマイクロエネルギーシステムのためのMEMS技術の展開について概説する.
- 2010-08-19
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