MNM-5B-2 広帯域環境振動のための非線形ばねを用いたMEMSエレクトレット発電器の開発(セッション 5B マイクロエネルギー)
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概要
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A MEMS electret generator with nonlinear spring has been developed for energy harvesting applications. By using hybrid high-aspect-ratio parylene springs, a large-amplitude oscillation over 1.0 mm_<p-p> has been obtained in a broad frequency range of 46-73 Hz. By using our mechanical model of the nonlinear spring, we have confirmed that the model can mimic frequency response of the mass-spring system. At 1 G acceleration vibration, we have obtained more than 2.0 μW output at 16-40 Hz.
- 2010-10-12
著者
-
三木 大吾
東京大学大学院工学系研究科
-
本泉 真人
東京大学大学院工学系研究科
-
鈴木 雄二
東京大学大学院工学系研究科
-
鈴木 雄二
東京大学
-
鈴木 雄二
東京大学 大学院 工学系研究科
-
松本 光一
東京大学
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