MP-22 真空紫外線荷電による垂直エレクトレットを用いたMEMS振動発電器の開発(ポスターセッション)
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
Our target is to realize a vibration-driven MEMS generator with vertical electrets for energy harvesting applications. With the aid of a novel high-speed charging method using vacuum UV irradiation, vertical electrets on the sidewall of comb fingers have been developed. An early prototype of in-plane electret generator with parylene electrets has been successfully microfabricated through a single-wafer approach. Uniform surface potential on the vertical electrets of the comb fingers is confirmed with a Kelvin force microscopy (KFM) measurement. Power generation with the prototype has been also demonstrated.
- 2011-09-25
著者
関連論文
- 環境発電に用いるMEMSエレクトレット振動発電器の開発(第1回マイクロ・ナノ工学シンポジウム)
- 流体制御に用いるマイクロ・プラズマアクチュエータの変換効率に関する研究(第1回マイクロ・ナノ工学シンポジウム)
- マイクロ・プラズマアクチュエータの特性(熱くない!?熱い!!プラズマアクチュエータ)
- 335 マイクロチューブ内気液二相流の熱伝達特性に関する研究(T06-3 マイクロ・ナノ熱流体システム(3) 輸送・反応,大会テーマセッション,21世紀地球環境革命の機械工学:人・マイクロナノ・エネルギー・環境)
- マイクロ・アクチュエータ群によるモデル燃焼器内予混合火炎の能動制御(熱工学,内燃機関,動力など)
- (9)マイクロセンサ・アクチュエータ群を用いた壁乱流フィードバック制御システムの構築と評価(論文,日本機械学会賞〔2007年度(平成19年度)審査経過報告〕)
- E123 超薄型石英チャネルにおけるマイクロ気相燃焼に関する研究(ミクロな燃焼)
- 条件付き2ラインOH-PLIFを用いた能動制御下における同軸噴流火炎の温度計測(熱工学,内燃機関,動力など)
- 熱流動の随伴解析に基づいたコンパクト熱交換器の形状最適設計(熱工学,内燃機関,動力など)
- OS1-1 大変形MEMS振動構造を有したエレクトレット発電器の開発(OS1 マイクロエネルギー変換,循環型社会における動力エネルギー技術)
- E113 熱光発電システムに用いる高温作動マイクロセラミック触媒燃焼器の開発(OS1 マイクロエネルギー変換)
- D208 表面マイクロキャビティを用いた選択的放射体に関する基礎的研究(OS-1 マイクロエネルギー変換(1),一般講演,地球温暖化防止と動力エネルギー技術)
- A11-2 マイクロ熱流体システム : 熱工学とMEMSの接点
- 軟X線照射によるシリコンマイクロホン用エレクトレットの作製
- DNSを用いたスクリーンによる主流乱れの制御に関する研究
- M3-1 流体制御に用いるマイクロ・プラズマアクチュエータの変換効率に関する研究(M3 熱流体デバイス)
- D212 マイクロ振動型エレクトレット発電器のための高性能フッ素ポリマーの開発(OS-1 マイクロエネルギー変換(2),一般講演,地球温暖化防止と動力エネルギー技術)
- OS1-2 アモルファスフッ素樹脂を用いたマイクロ・エレクトレット発電器の開発(OS1 マイクロエネルギー変換,分散と集中の共存)
- KN2-3 エナジー・ハーベスティングの現状と展望(KN2 機械工学分野の「マイクロ・ナノ」)
- E116 環境振動発電に用いるMEMSエレクトレット発電器の開発(OS1 マイクロエネルギー変換)
- M6-5 壁面修飾流路を用いたラベルフリー細胞分離メカニズムに関する研究(M6 バイオセンサ・システム)
- 流れの能動制御のためのマイクロプラズマアクチュエータの効率評価(反応・多相系 電磁(2),一般講演)
- 噴流制御用マイクロフラップ型アクチュエータにより誘起される大規模渦の生成機構(流れの制御(3),一般講演)
- エレクトレット高分子膜を用いたマイクロ振動型発電器(FR1 マイクロエネルギー変換)
- MNM-5B-4 マイクロ流路内予混合火炎における化学的壁面効果に関する研究(セッション 5B マイクロエネルギー)
- MNM-5B-2 広帯域環境振動のための非線形ばねを用いたMEMSエレクトレット発電器の開発(セッション 5B マイクロエネルギー)
- F115 振動発電器のための垂直エレクトレット膜への軟X線荷電に関する研究(OS1 マイクロエネルギー変換),動力エネルギーシステム部門20周年,次の20年への新展開)
- F105 熱光発電高効率化のための金属被膜シリコンマイクロキャビティによる輻射スペクトル制御(OS1 マイクロエネルギー変換),動力エネルギーシステム部門20周年,次の20年への新展開)
- MNM-P9-3 選択的壁面接着力と2次流れを用いた連続的マイクロ細胞分離(P9 マイクロ・ナノスケールバイオ計測と医用応用)
- 239 コーンプレート装置による細胞ソーティングモデルの構築(OS1-13 : 生体マイクロ・ナノ新技術(2),マイクロ・ナノバイオメカニクス)
- MP-22 真空紫外線荷電による垂直エレクトレットを用いたMEMS振動発電器の開発(ポスターセッション)
- E103 MEMSエレクトレット環境発電器を用いた自立型無線センサの試作(OS1&9 マイクロエネルギー変換・熱・流動(マイクロ))
- 3-3 エレクトレット環境振動発電による電池レスワイヤレスセンサノードの試作(OS3 電池レス・デバイスのためのエネルギーハーベストの展開)
- MP-21 環境振動発電器のためのX線光電離を用いたエレクトレット荷電法(ポスターセッション)