無機エレクトレットを用いた電荷蓄積型シリコンマイクロホン
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概要
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We developed a silicon electret condenser microphone (ECM) fabricated with the micro-electro-mechanical systems (MEMS) process using single-crystalline silicon. A silicon ECM has a SiOsub2/sub/Sisub3/subNsub4/sub inorganic electret film (permanently charged dielectric) within microphone element, and it can remove 48-V bias voltage. We confirmed that a prototype microphone operated with 3-V or 1.5-V power supply had excellent acoustic characteristics. Experimental results also show that developed silicon-based electret had high heat and humidity resistance. We conclude that it is feasible to use such low-voltage high-performance MEMS microphones for a wide range of applications such as broadcasting, hearing-aids, and mobile communications.
- 2012-09-01
著者
-
後藤 正英
NHK放送技術研究所
-
萩原 啓
NHK放送技術研究所
-
児玉 秀和
財団法人小林理学研究所
-
樹所 賢一
リオン株式会社
-
井口 義則
NHK放送技術研究所
-
安野 功修
(財)小林理学研究所
-
児玉 秀和
(財)小林理学研究所
-
樹所 賢一
リオン(株)
-
田島 利文
(財)NHKエンジニアリングサービス
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