M5-2 シリコンエレクトレットコンデンサマイクロホンの実現に向けた無機エレクトレット膜および着電技術の開発(M5 アクチュエータ/フィジカルセンサ)
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概要
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Towards low-voltage and high-performance subminiature microphone, we are studying silicon electret condenser microphone. Recently, we developed a novel charging method for electret films using soft X-ray irradiation. In this paper, the principle of the charging method and the surface potential of a charged inorganic electret film are reported.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2009-10-15
著者
-
後藤 正英
NHK放送技術研究所
-
萩原 啓
NHK放送技術研究所
-
安野 功修
財団法人小林理学研究所
-
児玉 秀和
財団法人小林理学研究所
-
樹所 賢一
リオン株式会社
-
田島 利文
NHK放送技術研究所
-
井口 義則
NHK放送技術研究所
-
井口 義則
(財)NHKエンジニアリングサービス
-
安野 功修
(財)小林理学研究所
-
児玉 秀和
(財)小林理学研究所
-
樹所 賢一
リオン(株)
-
樹所 賢一
リオン
-
井口 義則
日本放送協会放送技術研究所新機能デバイス研究部
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