HARP積層型CMOS撮像素子用Au画素電極の形成(映像入出力および一般)
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
高感度固体撮像素子の実現を目指し、HARP膜とCMOS信号読み出し回路とを組み合わせたHARP膜積層型CMOS撮像素子の研究を進めている。本素子を実現するために、従来はHARP膜とCMOS信号読み出し回路間をインジウムマイクロバンプを介して直接接合していた。しかしこの方法では、インジウムマイクロバンプの不均一性に起因した固定パターンノイズが発生するという問題が生じていた。今回、この問題を解決するために、HARP膜側に各画素に対応した一定の面積のAu電極を形成したのち、インジウムマイクロバンプを用いて接合する技術を開発した。これにより固定パターンノイズを著しく低減させることに成功した。
- 社団法人映像情報メディア学会の論文
- 2002-11-21
著者
-
江上 典文
NHK放送技術研究所
-
大竹 浩
NHK放送技術研究所
-
井口 義則
NHK放送技術研究所
-
谷岡 健吉
NHK放送技術研究所
-
丸山 裕孝
NHK放送技術研究所
-
宮川 和典
NHKエンジニアリングサービス
-
鈴木 四郎
NHK放送技術研究所
-
宮川 和典
NHK放送技術研究所
-
高畠 保
NHK放送技術研究所
-
山内 正仁
NHK放送技術研究所
-
林田 哲哉
NHK放送技術研究所
-
山内 正仁
日本放送協会
-
林田 哲哉
NHKエンジニアリングサービス
-
丸山 裕孝
Nhk放送センター
-
松下 裕樹
NHK放送技術研究所
-
石黒 雄一
NHK仙台放送局
-
丸山 祐孝
Nhk 放送技術研究所
-
井口 義則
日本放送協会放送技術研究所新機能デバイス研究部
関連論文
- FEA-HARPにおけるブルーミング抑制駆動法
- 有機光導電膜とZnO TFT回路の積層構造を用いた有機撮像デバイスの原理実証実験
- アンチブルーミングFEA-HARP(深い感性の喚起と情報センシング,高精細撮像,高感度及び一般)
- 固体HARP用CMOSイメージセンサの固定パターン雑音低減(画像入出力および一般)
- パルス出力型広ダイナミックレンジCMOSイメージセンサの検討(高機能イメージセンサ)
- 5-1 可変しきい値を用いたリニア出力型広ダイナミックレンジ撮像デバイス
- 固体HARP用CMOS信号読み出し回路の高S/N化
- 固体HARP用高S/N信号読み出し回路の検討
- 24-6 団体HARP用高S/N信号読み出し回路検討
- 酸化亜鉛TFTを信号読出し回路に用いた有機膜積層型撮像デバイス(高機能イメージセンサとその応用)
- FEAとHARP光電変換膜を適用した小型超高感度撮像デバイスの開発
- 超高感度15μm厚HARP光電変換膜
- 24aWG-8 X線HARP-SPINDT検出器による角度分解X線イメージング(X線・粒子線(X線光学・イメージング),領域10,誘電体,格子欠陥,X線・粒子線,フォノン物性)
- 21pTC-6 X線HARP検出器による角度分解イメージング(X線・粒子線(X線),領域10,誘電体,格子欠陥,X線・粒子線,フォノン物性)
- 18pXC-8 X線HARP検出器による位相イメージング(X線(X線・粒子線),領域10,誘導体,格子欠陥,X線・粒子線,フォノン物性)
- 有機光導電膜を積層したCMOSイメージセンサの試作(センサデバイス・MEMS・一般)
- Ultra-high-sensitivity New Super-HARP Pickup Tube and Its Camera
- 超高感度スピント型冷陰極HARP撮像板の諸特性(センサデバイス・MEMS・一般)
- 磁界集束系を備えた1インチ256×192画素冷陰極HARP撮像板(イメージセンシング技術とその応用)
- 1インチ256×192画素磁界集束型冷陰極HARP撮像板の諸特性(電子管と真空ナノエレクトロニクス及びその評価技術)
- 1インチ256×192画素磁界集束型冷陰極HARP撮像板の試作
- 冷陰極撮像板の画質改善
- 冷陰極撮像板の画質改善(電子管と真空ナノエレクトロニクス及びその評価技術)
- 冷陰極HARP撮像板におけるメッシュ電極の役割(画像入出力および一般)
- 冷陰極HARP撮像板の解像度特性(映像入出力および一般)
- 冷陰極HARP撮像板の解像度特性
- 128×96画素冷陰極HARP撮像板の開発
- 冷陰極HARP撮像板の試作
- 24-9 冷陰極HARP撮像板の多画素化基礎検討-第2報-
- パッケージ型冷陰極HARP撮像板の試作・検討
- 4-7 冷陰極HARP撮像板の小型パッケージ化
- 4-6 冷陰極HARP撮像板の多画素化基礎検討
- 冷陰極HARP撮像板(イメージセンシング技術)
- 波長選択機能を有する有機光導電膜の特性評価
- 超高感度ハイビジョン新Super-HARP撮像管カメラの開発とその応用(高機能イメージセンサ)
- 次世代小型高感度撮像デバイスをめざして (アントレプレナー・エンジニアリング)
- 1インチ256×192画素アクティブ駆動型HEED冷陰極HARP撮像板
- アクティブ駆動型HEED冷陰極HARP撮像板の試作(電子管と真空ナノエレクトロニクス及びその評価技術)
- 23-10 超高感度ハイビジョン新Super-HARPカメラの応用
- 23-9 超高感度ハイビジョンハンディカメラ
- 23-8 ハイビジョン用超高感度撮像管
- 23-7 実用型新Super-HARP膜
- 新Super-HARP膜の量子効率改善
- 情報センシング(画像エレクトロニクス)(映像情報メディア年報)
- 8)ハイビジョン用2/3インチHARP-TUBEの開発とハンディカメラへの適用(〔テレビジョン電子装置研究会画像表示研究会〕合同)
- ハイビジョン用2/3インチHARP-TUBEの開発とハンディカメラへの適用 : 電子装置 : 画像表示(画像デバイス)
- 2-5 低電力損失ダイオード型電子銃
- 2-3 ハイビジョン用2/3インチ高感度MS型HARP撮像管(第2報)
- ハイビジョン用1インチ全静電方式高感度サチコン
- 2-2 ハイビジョン用1インチ全静電型高感度サチコン : (2)全静電方式のハイビジョンへの応用
- 1-4 ハイビジョン用1インチ全静電型HARP撮像管(第2報)
- ハイビジョン用1インチ全静電型HARP撮像管
- ハイビジョン用1インチ全静電型HARP撮像管
- 有機光導電膜を積層したCMOSイメージセンサの試作(センサデバイス・MEMS・一般)
- ハイビジョン用2/3インチMS(磁界集束・電界偏向)型HARPICON
- 超高感度スピント型冷陰極HARP撮像板の諸特性(センサデバイス・MEMS・一般)
- 冷陰極撮像板の画質改善
- Ultra-high-sensitivity New Super-HARP Pickup Tube and Its Camera
- Ultra-high-sensitivity New Super-HARP Pickup Tube and Its Camera
- Ultra-high-sensitivity New Super-HARP Pickup Tube and Its Camera
- 新Super-HARP膜の量子効率改善
- HARP積層型CMOS撮像素子用Au画素電極の形成(映像入出力および一般)
- HARP積層型CMOS撮像素子用Au画素電極の形成
- 1-5 画像表示
- 1-2 情報ディスプレイ(1.画像エレクトロニクス)(映像情報メディア年報)
- 固体HARP用CMOS信号読み出し回路の高S/N化
- 固体HARP用高S/N信号読み出し回路の検討
- 25)ハイビジョン用高感度2/3インチMS型HARP撮像管(〔テレビジョン電子装置研究会 画像表示研究会〕合同)
- 1-1 情報センシング(1.画像エレクトロニクス)(映像情報メディア年報)
- (第63回)光学インチサイズってなに?(てれび・さろん〜知らないわけではないけれど〜)
- 4)ハイビジョンがとらえた皆既日食(〔放送方式研究会 放送現業研究会〕合同)
- ハイビジョンによる皆既日食の撮影 : ハワイ島「黒い太陽」を追え : 放送方式,放送現業
- 小型超高感度HARP撮像デバイスの実現に向けて : 冷陰極HARP撮像板の開発概要
- 14)パソコン制御を用いたハイビジョン用ディジタル残像・焼付測定器(〔テレビジョン電子装置研究会(第147回) 画像表示研究会(第113回)〕合同)
- パソコン制御を用いたハイビジョン用デジタル残像・焼付測定器
- 2-12 ハイビジョン用ディジタル残像・焼付測定器の開発
- 2-10 HARPターゲットを適用したハイビジョン用高感度撮像管
- ハイビジョン用高感度2/3インチMS型HARP撮像管("画像デバイス"特集)
- 3)1-inch HDTV HARP カメラ(ハイビジョン特別研究会情報入力研究会)
- 1インチハイビジョンHARPカメラ
- 1-7 1インチハイビジョンHARPカメラ
- 2-13 ハイビジョン用2/3インチ超高解像度MS型サチコン
- 14)高品位テレビハンディカメラ用2/3インチ高性能MS型サチコン([テレビジョン電子装置研究会(第140回) 画像表示研究会(第104回)]合同)
- 高品位テレビハンディカメラ用2/3インチ高性能MS型サチコン
- ハイビジョン用1インチ全静電型HARP撮像管
- 22-5 ハイビジョン用1インチ全静電型Super-HARP撮像管
- ハイビジョン用1インチ全静電型HARP撮像管の特性 : 情報入力,情報ディスプレイ
- 高品位テレビ用2/3インチ形撮像管の最適設計
- 冷陰極HARP撮像板--小型で超高感度な次世代撮像デバイスをめざして
- ハイビジョン用テストチャート(増補版)の仕様とその使い方
- 3)冷陰極HARP撮像板の基礎実験([情報入力研究会 情報ディスプレイ研究会]合同)
- 冷陰極HARP撮像板の基礎実験
- 冷陰極HARP撮像板の基礎実験
- 電界放出冷陰極撮像管
- 4)ハビジョン用1インチ全静電型HARP撮像管(〔情報入力研究会情報ディスプレイ研究会コンシューマエレクトロニクス研究会〕合同)
- ハイビジョン小型ビューファインダ用CRTの解像度決定要因
- 2-1 撮像管用機能分離型電子銃の基礎検討
- ハイビジョン用サチコンにおける解像度の信号電荷蓄積時間への依存性
- 4-9 小型ビューファインダ用CRTの解像度決定要因
- 9)ハイビジョン用撮像管における解像度決定要因の考察([テレビジョン電子装置研究会画像表示研究会]合同)