超高感度スピント型冷陰極HARP撮像板の諸特性(センサデバイス・MEMS・一般)
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概要
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小型で超高感度なハイビジョンカメラの実現に向けて、スピント型冷陰極アレイにHARP光電変換膜を近接させて対向配置した冷陰極HARP撮像板の開発に取り組んでいる。今回、撮像板の超高感度化に向けて、電荷増倍率約600倍の厚さ25μmのHARP膜を適用した基礎実験用撮像板を試作し、この撮像板では厚さ4μmのHARP膜を適用した従来の撮像板に比べて約20倍の超高感度が安定に得られることを実証した。また、試作撮像板では、従来の撮像板に比べて、残像が大幅に改善されることや、ほぼ同等な解像度が得られることを確認した。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2005-08-26
著者
-
難波 正和
NHK放送技術研究所
-
本田 悠葵
NHK放送技術研究所
-
江上 典文
NHK放送技術研究所
-
渡部 俊久
NHK放送技術研究所
-
伊藤 茂生
双葉電子工業
-
伊藤 茂生
Futaba Corporation
-
宮川 和典
NHKエンジニアリングサービス
-
小林 昭
浜松ホトニクス株式会社
-
宮川 和典
NHK放送技術研究所
-
平野 喜之
日本放送協会 放送技術研究所
-
岡崎 三郎
Nhk放送技術研究所材料・デバイス
-
田中 満
双葉電子工業株式会社
-
小原 有司
双葉電子工業(株)商品開発センター
-
平野 喜之
NHK放送技術研究所
-
江上 典文
Nhk放送技術研究所撮像デバイス
-
大川 裕司
Nhk放送技術研究所:静岡大学大学院
-
小林 昭
浜松ホトニクス
-
小原 有司
双葉電子工業株式会社
-
岡崎 三郎
Nhk放送技術研究所
-
小原 有司
双葉電子工業
-
渡部 俊久
Nhk放送技術研究所:静岡大学創造科学技術大学院
-
田中 満
双葉電子工業(株)商品開発センター
-
江上 典文
NHK放送技術研究所撮像・記録デバイス研究部
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