電界放出冷陰極撮像管
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概要
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微小で尖鋭な突起を有するスピント型冷陰極を電子統として用いた電界放出冷陰極撮像管を試作した。試作管はa-Se光導電膜をもつ2, 3インチ全静電型で、試作プロセスにエージング処理など冷陰極独特の工夫を加えて、この種の撮像管として初めて撮像に成功した。試作管の解像度は600TV本程度で、残像特性も従来の熱陰極撮像管に比べて不良であったが、これらの性能はφ1mmの領域に1万個の素子が形成されたものを電子統としたこと、また放出電子の発散角が大きいことによる。さらに管内での冷陰極の電子放出特性の経時劣化が大きいことがわかった。これらの解析をもとに,この種の撮像管の性能改善および冷陰極アレイを用いた撮像板実現に対する課題をまとめた。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1994-12-16
著者
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