パッケージ型冷陰極HARP撮像板の試作・検討
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概要
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超高感度、超高精細でコンパクトな次世代撮像素子をめざして、冷陰極アレイにHARP膜を対向配置した冷陰極HARP撮像板の研究に取り組んでいる。今回、新たに128×96画素の撮像板基礎実験用冷陰極アレイを設計・試作し、本アレイを用いたパッケージ構造の撮像板で撮像動作が可能であることを実証した。また試作撮像板では、ダイナミックレンジを決める実効ビーム電流は従来の真空デバイスである撮像管の2〜3倍を確保できること、さらに画素数に相当する解像度が得られること等を確認した。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2000-12-08
著者
-
瀧口 吉郎
NHK放送技術研究所
-
難波 正和
NHK放送技術研究所
-
江上 典文
NHK放送技術研究所
-
伊藤 茂生
双葉電子工業
-
宮川 和典
NHKエンジニアリングサービス
-
宮川 和典
日本放送協会放送技術研究所
-
瀧口 吉郎
日本放送協会放送技術研究所
-
岡崎 三郎
Nhk放送技術研究所材料・デバイス
-
田中 満
双葉電子工業株式会社
-
長田 勝玄
NHK放送技術局報道技術センター
-
難波 正和
日本放送協会
-
岡崎 三郎
日本放送協会
-
江上 典文
日本放送協会
-
長田 勝玄
日本放送協会
-
山岸 敏郎
日本放送協会
-
瀧口 吉郎
日本放送協会
-
田中 満
双葉電子工業(株)商品開発センター
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