12-1 固体撮像素子用HARP薄膜の基礎検討
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概要
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A thin HARP film for a solid-state imager is discussed. The avalanche multiplication factors of HARP films with thickness of 0.3-0.5μm were simulated, and the 0.4μm film was manufactured. It obtained the avalanche gains of 2 at a target voltage of 60V and 4 at 67V. No deterioration of the spectral response characteristics was observed with thin HARP film, but it was found that the quantum efficiency had to be improved at green and red wavelengths.
- 社団法人映像情報メディア学会の論文
- 1998-10-29
著者
-
瀧口 吉郎
NHK放送技術研究所
-
久保田 節
NHK放送技術研究所
-
鈴木 四郎
NHK放送技術研究所
-
久保田 節
日本放送協会 放送技術研究所
-
谷岡 健吉
日本放送協会 放送技術研究所
-
平井 忠明
浜松ホトニクス
-
河合 敏昭
浜松ホトニクス
-
鈴木 四郎
日本放送協会放送技術研究所
-
設楽 圭一
日本放送協会放送技術研究所
-
小杉 美津男
日本放送協会放送技術研究所
-
瀧口 吉郎
日本放送協会放送技術研究所
-
加藤 務
日本放送協会放送技術研究所
-
Park Wug-Dong
Dongyang University
-
河合 敏昭
浜ホト
-
小杉 美津男
NHK放送技術研究所
-
小杉 美津男
NHK福岡放送局
-
小杉 美津男
日本放送協会
-
Wug-Dong Park
Dongyang University
-
河合 敏明
浜松ホトニクス
-
加藤 務
日本放送協会技術運用センター運用
-
設楽 圭一
日本放送協会 放送技術研究所
-
久保田 節
Nhk 放送技研
-
瀧口 吉郎
日本放送協会
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