冷陰極HARP撮像板の基礎検討
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概要
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超高感度でコンパクトな撮像デバイスの実現をめざして,冷陰極アレイにメッシュ電極とHARP膜を組み合わせた冷陰極HARP撮像板の開発を進めている.今回基礎検討として,真空チャンバ内にセットした撮像板の特性評価を行い,撮像板でHARP膜の特長である高感度特性を実現できること,冷陰極からの電子ビーム量の変動は撮像板の出力信号にほとんど影響を及ぼさないこと,高電圧を印加したメッシュ電極を用いることで解像度の向上が図れることを明らかにした.これらを踏まえ,光学像を撮像・表示させ,本撮像板が2次元イメージセンサとして機能することを実証した.さらに,メッシュ電極を段差加工したガラスリングで支持し,HARP膜と冷陰極アレイをリング両端に接続・真空シールした撮像板パッケージモデルを提示し,コンパクトな撮像板作製が可能であることを示した.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1999-12-13
著者
-
難波 正和
NHK放送技術研究所
-
伊藤 茂生
双葉電子工業
-
谷岡 健吉
日本放送協会 放送技術研究所
-
岡崎 三郎
Nhk放送技術研究所材料・デバイス
-
高山 勝己
双葉電子工業株式会社 商品開発センター
-
田中 満
双葉電子工業株式会社
-
長田 勝玄
NHK放送技術局報道技術センター
-
難波 正和
日本放送協会
-
岡崎 三郎
日本放送協会
-
江上 典文
日本放送協会
-
長田 勝玄
日本放送協会
-
山岸 敏郎
日本放送協会
-
田中 満
双葉電子工業(株)商品開発センター
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