MNM-3B-7 電荷蓄積型シリコンマイクロホンの試作と特性評価(セッション 3B 情報・精密機器におけるマイクロ・ナノテクノロジー2)
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概要
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Toward an ultraminiature high-performance microphone for the next generation, we are studying a silicon electret condenser microphone. We investigated etching and electric characteristics of silicon dioxide/nitride film, and determined deposition condition of the nitride film. We also developed a fabrication process of the microphone element. The fabricated prototype microphone showed flat frequency response in audio frequency range.
- 2010-10-12
著者
-
後藤 正英
NHK放送技術研究所
-
萩原 啓
NHK放送技術研究所
-
安野 功修
財団法人小林理学研究所
-
児玉 秀和
財団法人小林理学研究所
-
樹所 賢一
リオン株式会社
-
田島 利文
NHK放送技術研究所
-
井口 義則
NHK放送技術研究所
-
安野 功修
(財)小林理学研究所
-
児玉 秀和
(財)小林理学研究所
-
樹所 賢一
リオン(株)
-
樹所 賢一
リオン
-
田島 利文
(財)NHKエンジニアリングサービス
-
井口 義則
日本放送協会放送技術研究所新機能デバイス研究部
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