無機エレクトレットを用いた電荷蓄積型シリコンマイクロホン
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概要
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We developed a silicon electret condenser microphone (ECM) fabricated with the micro-electro-mechanical systems (MEMS) process using single-crystalline silicon. A silicon ECM has a SiO2/Si3N4 inorganic electret film (permanently charged dielectric) within microphone element, and it can remove 48-V bias voltage. We confirmed that a prototype microphone operated with 3-V or 1.5-V power supply had excellent acoustic characteristics. Experimental results also show that developed silicon-based electret had high heat and humidity resistance. We conclude that it is feasible to use such low-voltage high-performance MEMS microphones for a wide range of applications such as broadcasting, hearing-aids, and mobile communications.
著者
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後藤 正英
NHK放送技術研究所
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萩原 啓
NHK放送技術研究所
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田島 利文
NHK放送技術研究所
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井口 義則
NHK放送技術研究所
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田島 利文
（財）NHKエンジニアリングサービス
-
安野 功修
（財）小林理学研究所
-
児玉 秀和
（財）小林理学研究所
-
樹所 賢一
リオン（株）
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