3次元微細加工技術を利用したマイクロホン : シリコンマイクロホン(<小特集>マイクロホン開発における各種技術分野の動向)
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概要
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- 社団法人日本音響学会の論文
- 2008-11-01
著者
関連論文
- 「On Growth and Form」, D'Arcy Went-worth Thompson著, Cambridge University Press(私のすすめるこの一冊,コーヒーブレーク)
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- 5-6 電荷蓄積型シリコンマイクロホンの試作(第5部門 情報センシング)
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