22pTD-7 Split HOLZ lineを用いた実デバイス中に生じる歪み分布測定(格子欠陥・ナノ構造(金属・半導体),領域10,誘電体,格子欠陥,X線・粒子線,フォノン物性)

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概要

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• 2007-08-21

著者

• 山崎 貴司

  富士通研究所

• 山崎 貴司

  東理大理

• 倉持 幸治

  東理大理

• 橋本 厳

  東理大理

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