25pYS-3 収束電子線回折法によるSOI wafer中の歪分布の精密測定(X線・粒子線(電子線),領域10(誘電体, 格子欠陥, X線・粒子線, フォノン物性))

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概要

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• 2005-03-04

著者

• 橋本 巌

  東理大理

• 渡辺 和人

  都立産技高専

• 山崎 貴司

  東理大理

• 渡辺 和人

  都立高専

• 倉持 幸治

  東理大理

• 伊坂 朋子

  東理大理

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