Sbをイオン打ち込みしたSi中の欠陥のアニーリング時間依存性

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概要

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• 社団法人日本物理学会の論文
• 1996-09-13

著者

• 橋本 巌

  東理大理

• 渡辺 和人

  都立高専

• 上杉 文彦

  東理大

• 橋本 巌

  東理大 理

• 上杉 文彦

  東芝ナノアナリシス(株)

• 橋本 巌

  東理大

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