27aYA-5 HAADF-STEMによるイオン打ち込みしたSi中のAs原子の同定

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概要

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• 社団法人日本物理学会の論文
• 1999-09-03

著者

• 橋本 巌

  東理大理

• 川崎 正博

  Jeol U.s.a.

• 川崎 正博

  日本電子株式会社

• 川崎 正博

  日本電子(株)電子光学機器技術本部応用研究センター1g

• 塩尻 詢

  京都工芸繊維大

• 山崎 貴司

  東理大理

• 渡辺 和人

  都立高専

• 菊地 吉男

  MIRAIプロジェクト

• 菊地 吉男

  富士通研

• 塩尻 詢

  金沢医大:京工繊大

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