7aSL-3 Low-order zone axis CBED法を用いた試料の膜厚測定((電子線),X線・粒子線,領域10)

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概要

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• 一般社団法人日本物理学会の論文
• 2002-08-13

著者

• 橋本 巌

  東理大理

• 山崎 貴司

  東理大理

• 渡辺 和人

  都立高専

• 中西 伸登

  東理大理

• 山田 嗣人

  東理大理

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