反応性蒸着過程における Mn 酸化物薄膜組成のその場制御

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概要

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• Mn 酸化物は、Li2次電池用正極材料として注目されている。Mn は、鉱物資源として、豊富に存在するので、安価であり、3〜4V の電圧が得られるなどの優れた特徴がある。本研究の目標は、反応性蒸着法により Mn 酸化物薄膜を生成する事である。この研究過程で得られた結果の一部について報告する。

• 1997-08-13

著者

• 以西 雅章

  静岡大学工学部

• 藤安 洋

  静岡大学工学部電子工学科

• 藤安 洋

  静岡大学工学部

• 中村 隆幸

  静岡大学工学部

• 藤安 洋小

  静岡大学大学院電子科学研究科:静岡大学工学部電気電子工学科

• 伊藤 泰充

  スズキ(株)都田電子技術研究開発センター

• 伊藤 泰充

  Miyakoda Electronics Technical Center Suzuki Motor Corporation

• 山口 克馬

  静岡大学工学部

• 以西 雅章

  静岡大学工学研究科

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