石英アンプルによるLi二次電池用Mn_3O_4薄膜の生成(結晶成長評価及びデバイス(化合物,Si,SiGe,その他の電子材料))
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概要
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Li二次電池の正極物質として、 Mn酸化物が注目されている。Mn酸化物薄膜は反応性蒸着法により生成している。蒸着の際にるつぼ内の金属Mnの酸化を防止するために、石英アンプル(quartz ampoule)を設置した。また、Mn酸化物薄膜の成長速度は初回15(Å/s)付近で再現性が良いことがわかっている。本研究では、生成されるMn酸化物薄膜の再現性が良くなるような、石英アンプルの首の長さなどの蒸着変数を調査した。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2004-05-07
著者
-
以西 雅章
静岡大学工学部
-
藤安 洋
静岡大
-
藤安 洋
静岡大 工
-
藤安 洋
静岡大学工学部
-
藤安 洋
静岡大学大学院電子科学研究科
-
藤安 洋小
静岡大学大学院電子科学研究科:静岡大学工学部電気電子工学科
-
清水 寛俊
静岡大学理工学研究科工学部
-
永塩 豊
静岡大学工学部
-
上木原 浩輝
静岡大学工学部
-
清水 寛俊
静岡大学理工学研究科
-
以西 雅章
静岡大学工学研究科
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