Ga_2O_3酸素センサの作製と評価(センサ,結晶成長,評価及びデバイス(化合物,Si,SiGe,電子・光材料))
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概要
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近年、環境問題に対する関心の高まりから、排気ガスの制御に酸素ガスセンサが注目されている。酸化ガリウム(Ga_2O_3)は900℃以上で酸素検知特性を持つことから、高温用酸素ガスセンサとして注目されている。そこで本研究ではβ-Ga_2O_3薄膜をRFマグネトロンスパッタリング法で生成した。本研究では、2種類の基板すなわち、Si(100)と石英基板上にβ-Ga_2O_3薄膜を生成し、酸素検知特性への影響について調べた。その結果、石英基板上に作製した酸素ガスセンサが優れた酸素検知特性を持つことが分かった。
- 2012-05-10
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