Li二次電池用Mn酸化物薄膜の作製と評価(結晶成長評価及びデバイス(化合物,Si,SiGe,その他の電子材料))
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概要
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Li二次電池の正極物質として、Mn酸化物が注目されている。Mn酸化物は反応性蒸着法により生成しているが、蒸着の際にMnの酸化を防止するためのセパレーター(SUS cell)を設置した。また、Mn酸化物の成長速度は初回15(Å/s)付近で再現性が良いことがわかっている。本研究では、成長速度の再現性が良くなるような、セパレーターの長さやソース温度などのパラメーターを調査した。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2003-05-08
著者
-
以西 雅章
静岡大学工学部
-
藤安 洋
静岡大学工学部電子工学科
-
藤安 洋
静岡大学工学部
-
藤安 洋小
静岡大学大学院電子科学研究科:静岡大学工学部電気電子工学科
-
西田 英治
静岡大学工学部
-
清水 寛俊
静岡大学理工学研究科工学部
-
本田 真士
静岡大学工学部
-
永塩 豊
静岡大学工学部
-
清水 寛俊
静岡大学理工学研究科
-
以西 雅章
静岡大学工学研究科
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