RFマグネトロンスパッタリング法によるLiMn2O4薄膜の生成条件の調査 (シリコン材料・デバイス)

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概要

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• 電子情報通信学会の論文
• 2010-05-13

著者

• 以西 雅章

  静岡大学工学部

• 中村 光宏

  静岡大学工学研究科

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