RFマグネトロンスパッタリング法によるβ-Ga_2O_3薄膜の生成(結晶成長,評価及びデバイス(化合物,Si,SiGe,電子・光材料))
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概要
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近年環現問題に対する関心は年々高まってきている。そのため排気ガスの制御に利用される高温用酸素ガスセンサとして酸化ガリウムが注目されている。そこで本研究ではβ-Ga_2O_3薄膜をスパッタリング法で生成し、熱処理による結晶特性への影響、薄膜生成時のO_2ガス流量が与える結晶特性への影響について調べた。その結果、生成した薄膜は熱処理を行なうことで結晶特性が向上することがわかった。また、アルゴンと酸素の流量比が総流量2.4sccmにおいてAr:O_2=5:1のときに最もよい結晶特性の薄膜が得られた。
- 2008-05-08
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