急速アニールによる青色EL素子用SrS:Cu薄膜の結晶特性の向上(結晶成長評価及びデバイス(化合物,Si, SiGe,その他の電子材料))
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概要
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電子線蒸着法により二重絶縁構造を持つ青色発光EL素子を作製した。発光層はSrS:Cuである。輝度の向上を目的として、EL素子に急速アニールを実施し、結晶及び発光特性への効果を調査した。その結果、450℃、2分の急速アニールにより、X線回折強度が増し、PL発光強度も増すことがわかった。本研究では、急速アニール条件について発表する。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2006-05-11
著者
-
以西 雅章
静岡大 工
-
中川 大輔
静岡大学 工学部 電気・電子工学科
-
以西 雅章
静岡大学 工学部 電気・電子工学科
-
佐々木 孝輔
静岡大学 工学部 電気・電子工学科
-
以西 雅章
静岡大学 工学研究科
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