RFマグネトロンスパッタリング法によるLiMn_2O_4薄膜生成へのドーナツ円板の効果(結晶成長,評価及びデバイス(化合物,Si,SiGe,電子・光材料))
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概要
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RFマグネトロンスパッタリング法により、Li二次電池正極用のLiMn_2O_4薄膜を生成している。ターゲットには、LiMn_2O_4粉末を用い、連続して複数回のスパッタを行った。本研究は、反応性スパッタリング中での、ターゲット物質の酸化を防止する方法として考案された。具体的には、ターゲットと基板間にドーナツ状の円板を設置して、結晶特性への効果を調べた。蒸着速度、XRD測定、表面観察を行った結果、現在までの研究で、ターゲットの酸化抑制効果は高くないことが分かった。しかし、蒸着速度の向上に効果があることが分かった。
- 2008-05-08
著者
-
細川 貴之
静岡大学工学研究科
-
中村 功一
静岡大学工学研究科
-
細江 俊介
静岡大学工学部
-
酒井 里
静岡大学工学部
-
以西 雅章
静岡大学工学部
-
以西 雅章
静岡大 工
-
以西 雅章
静岡大学工学研究科
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