Li二次電池用Mn酸化物薄膜の生成(結晶成長, 評価技術及びデバイス(化合物, Si, SiGe, その他電子材料))
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概要
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Li二次電池の正極物質として、Mn酸化物が注目されている。Mn酸化物(Mn_3O_4)薄膜は反応性蒸着法により生成している。蒸着の際にるつぼ内の金属Mnの酸化を防止するために、SUSセル(SUS cell)を設置した。また、Mn酸化物薄膜の成長速度は初回15(Å/s)付近で再現性が良いことがわかっている。本研究では、Liを含んだMn酸化物薄膜の生成を試みた。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2005-05-19
著者
-
以西 雅章
静岡大学工学部
-
藤安 洋
静岡大
-
立井 友浩
静岡大学工学部
-
藤安 洋
静岡大学工学部電子工学科
-
藤安 洋
静岡大 工
-
藤安 洋
静岡大学工学部
-
藤安 洋
静岡大学大学院電子科学研究科
-
藤安 洋小
静岡大学大学院電子科学研究科:静岡大学工学部電気電子工学科
-
以西 雅章
静岡大学工学研究科
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