青色EL素子用SrS:Cu薄膜の作製と評価(結晶成長,評価及びデバイス(化合物,Si,SiGe,電子・光材料))
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概要
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青色EL発光特性向上のために、SrS:Cu薄膜EL(Electroluminescent Element)素子の作製条件を調査した。蒸発物の錠剤(ペレット)の焼成条件は、焼成温度600℃、焼成時間1時間とし、発光中心Cu_2Sの濃度は、0.3mol%一定とした。SrS:Cu発光層の膜厚を変数として、結晶特性の膜厚依存性を調べた。その結果、発光層の膜厚、蒸着時間が、それぞれ、約18000Å、180分の条件が最も結晶特性が良かった。熱処理温度の最適化では、最高温度700℃の急速アニールが最も効果があった。DFM(Dynamic Force Measurement)測定では、熱処理温度が700℃の場合が最もEL素子表面の粗さが小さかった。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2009-05-07
著者
-
以西 雅章
静岡大学工学部
-
以西 雅章
静岡大 工
-
倉地 雄史
静岡大学工学研究科
-
武内 俊憲
静岡大学工学部電気電子工学科
-
以西 雅章
静岡大学工学部電気電子工学科
-
山田 典史
静岡大学工学研究科
-
宝珍 敬志
静岡大学工学部電気電子工学科
-
山田 典史
静岡大学大学院工学研究科
-
宝珍 敬志
静岡大学工学部
-
以西 雅章
静岡大学工学研究科
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