Ga_2O_3薄膜の作製と酸素センサ特性の評価(結晶成長,評価及びデバイス(化合物,Si,SiGe,電子・光材料))
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概要
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近年、環境問題に対する関心の高まりから、排気ガスの制御に酸素ガスセンサが注目されている。酸化ガリウムは900℃以上で酸素検知特性を持つことから、高温用酸素ガスセンサとして注目されている。そこで本研究ではβ-Ga_2O_3薄膜をスパッタリング法で生成し、熱処理による結晶特性への影響と、測定温度の酸素センサ特性への影響について調べた。その結果、作成した薄膜の結晶特性は、熱処理の温度に依存することがわかった。また、測定温度は約1000℃でもっとも安定したセンサ特性が得られた。
- 2009-05-07
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