ポーラスシリコン層のSEM観察

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概要

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• 多孔質シリコン(PS:Porous Silicon)での可視光発光の観察以来、Siナノクリスタル、Si-リッチSiO_2、a-Si:H、ポリシラン、シロキセンなどのSiを含んだ物質でも、発光が観察されている。しかし、この発光機構には不明な点か多く解明が急れている。本研究では、走査電子顕微鏡(SEM)によりPS層の構造を調べた。ここに、PS層の構造と光学特性の関係について報告する。

• 社団法人電子情報通信学会の論文
• 1994-09-26

著者

• 以西 雅章

  静岡大学工学部

• 安田 俊一

  静岡大学工業短期大学部

• 江上 力

  静岡大学工業短期大学部

• 荻田 正巳

  静岡大学工業短期大学部

• 江上 力

  静岡大学 工学部

• 荻田 正巳

  静岡大 工

• 以西 雅章

  静岡大学工学研究科

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