MW2000-31 / OPE2000-31 電子線描画による耐熱性ポリアリレートを用いた回折格子の作製
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概要
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耐熱性ポリアリレートのU-100に対し、屈折率・吸収スペクトルの加熱後の変化を調べた結果、優れた耐熱性を示した。またU-100は電子線照射後、加熱することでポジ型の現像が可能である。その露光・現像条件の詳細を調査した。周期、加熱温度、電子線照射量及び膜厚について各々の最適条件を検討し、導波路中で入出力結合器など様々な応用が可能な回折格子を作製した。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2000-06-23
著者
-
江上 力
静岡大学工業短期大学部
-
冨木 政宏
静岡大学工学部
-
岡本 尚道
静岡大学工学部
-
藤村 久
静岡大学工学部
-
冨木 政宏
静岡大学電子科学研究科
-
杉原 興浩
静岡大学工学部
-
秋月 隆昌
ユニチカ(株)中央研究所
-
白井 宏政
ユニチカ(株)中央研究所
-
江上 力
静岡大学 工学部
-
秋月 隆昌
ユニチカ (株) 中央研究所
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