高温圧着ポーリング法による高分子光導波路デバイス部品の形成

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概要

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• スタンピングと同時にポーリングを行う高温圧着ポーリング法を提案、高分子光導波路への応用を検証する。高温下で各種非線形高分子薄膜にマスターを押しつけると同時にポーリングをい、〜サブミクロン周期の_X^(2)を有するレリーフ回折格子が作製された。さらに、使用するマスターに改良を加えて、チャネルリッジの機能を持つマスターを作製した。このマスターにより、チャネル導波路を作製し2次非線形性を持たせるとともに、導波路に回折格子の形成を簡便に行うことができる。

• 社団法人電子情報通信学会の論文
• 2000-10-06

著者

• 杉原 興浩

  東北大学多元物質科学研究所

• 岡本 尚道

  静岡大学工学部

• 柴田 慎弥

  東北大学多元物質科学研究所

• 藤村 久

  静岡大学工学部

• 江上 力

  静岡大学 理工学研究科

• 江上 力

  静岡大学 工学部

• 柴田 慎弥

  静岡大学 理工学研究科

• 杉原 興浩

  静岡大学 理工学研究科

• 藤村 久

  静岡大学 理工学研究科

• 岡本 尚道

  静岡大学 理工学研究科

• 車 彦龍

  静岡大学 サテライトベンチャービジネスラボラトリー

• 車 彦龍

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