接合型ポリマー光導波路の作製(バイオテクノロジー,有機エレクトロニクス,界面,一般)
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概要
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ポリマーならではの特長を活かした簡便な光回路作製プロセスを用いて、アクティブポリマー光導波路、特に接合型光導波路の作製法について紹介する。ソフトリソグラフィー法と光架橋性高分子の直接露光法の組み合わせ技術は、パッシブポリマー光導波路作製簡易プロセスを適用していることから、時間・工程の短縮につながる。接合部一箇所当たりの接合損失は、0.007dB/pointであり、従来のプロセスによる接合損失と同等の低損失値であった。
- 2012-02-10
著者
-
杉原 興浩
東北大学多元物質科学研究所
-
戒能 俊邦
東北大学多元物質科学研究所
-
小松 京嗣
東北大学多元物質科学研究所
-
松井 崇行
東北大多元研
-
戒能 俊邦
東北大多元研
-
松井 崇行
(株)豊田中央研究所
-
杉原 興浩
東北大 多元物質科研
-
小松 京嗣
仙台工業高等専門学校
-
松井 崇行
東北大学多元物質科学研究所
-
Matsui Takayuki
Toyota Central R&d Labs. Inc.
-
松井 崇行
Toyota Central R&D Labs., Inc.
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