電子線描画による有機非線形光学結晶のパターン形成

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概要

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ある種の有機結晶は、非線形光学材料として有望である。特に、 2-adamanthylamino-5-nitropyridine(AANP)は、大きな二次非線形光学特性を持ち、近赤外波長領域において位相整合が可能であることから注目を集めている。高い効率での、光の伝送、変調を行うためには、光導波路化が有効であり、コア/クラッド間の屈折率調整が重要となる。一般的に有機非線形光学材料の光導波路化は、フォトリソグラフィーと反応性イオンエッチングを組み合わせた半導体プロセスを応用し、別々のコア材料とクラッド材料を利用し作製されるが、多段階プロセスであるため、より簡便な光導波路作製プロセスの開発が望まれている。一方、電子線描画法は、ポリマー材料に対する簡便なナノメートルオーダーの微細加工法として知られている。本研究では、 AANP単結晶導波路作製のための、電子線描画法によるAANPの屈折率変化を利用したパターン形成について述べる。
社団法人電子情報通信学会の論文
2006-03-09

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