耐熱性高分子への電子線直接描画と熱現象による微細加工技術

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概要

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• 静岡大学大学院電子科学研究科の論文

著者

• 杉原 興浩

  東北大学多元物質科学研究所

• 冨木 政宏

  静岡大学工学部

• 岡本 尚道

  静岡大学工学部

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