Fabrication of High-Resolution Periodical Structure in Photoresist Polymers Using Laser Interference Technique
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概要
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- 2004-04-30
著者
-
SUGIHARA Okihiro
Institute of Multidisciplinary Research for Advanced Materials, Tohoku University
-
杉原 興浩
東北大学多元物質科学研究所
-
KAINO Toshikuni
Institute of Multidisciplinary Research for Advanced Materials, Tohoku University
-
SHIBATA Shinya
Graduate School of Electronic Science and Technology, Shizuoka University
-
CHE Yanlong
Shizuoka University, NEDO Technical Fellow, Center for Joint Research
-
OKAMOTO Naomichi
Graduate School of Electronic Science and Technology, Shizuoka University
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