接合型自己形成光導波路の作製(光部品・電子デバイス実装技術・信頼性,及び一般)
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概要
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自己形成光導波路技術を用いて、接合型光導波路を簡便に作製した。光導波路作製波長で透明な色素を用いることにより、機能性光導波路成長を実現した。予め仕切を入れておくことで、透明光導波路、機能性光導波路、透明光導波路の直列接続である接合型光導波路を、無調芯で接続できる。本方法は、従来の接合型光導波路作製方法と比較して、プロセス・時間ともに大幅に短縮できる。
- 2012-08-16
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