スパッタリング法によるLiMn_2O_4薄膜の生成(結晶成長,評価及びデバイス(化合物,Si,SiGe,電子・光材料))
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概要
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Li二次電池用の正極物質として、Mn酸化物が注目されている。そこで材料費が安く、環境への影響も少ないという点から、スパッタリング法によるMn酸化物薄膜の生成を目指した。本研究では、充、放電の際にLiの挿入、離脱に柔構造なLiを含んだMn酸化物薄膜(LiMn_2O_4)を生成し、熱処理による結晶特性の向上を試みた。その結果、生成した薄膜は熱処理(アニール)を行うことで結晶特性が向上することがわかった。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2007-05-17
著者
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