ソフトエラーシミュレーションシステム

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概要

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SRAMセルの微細化および低電圧化に伴いソフトエラー対策が必要になる。そこで、ソフトエラーシミュレーションシステムを開発した。このシステムは、マスクレイアウト、プロセス条件、α線放射量などからソフトエラー率を求めることができる。今回、α線による発生電荷の流れを等価回路で近似し、ノイズ電流のモデル式を導いた。また、α線発生源を配線金属と仮定し、3次元形状シミュレータで配線パターンを求め、α線入射確率の計算精度を上げた。このシミュレーションは加速試験の結果と一致した。
社団法人電子情報通信学会の論文
1994-07-26

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