低温多結晶シリコンTFTのデバイス特性や信頼性に及ぼす粒界の影響(有機EL, TFT,及び一般)
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
多結晶シリコンの結晶粒界に着目した種々の低温多結晶シリコンTFTおよび単結晶SOI-MOSFETを用いて,電界効果移動度とサブスレッショルド係数の温度依存性を示し,TFTデバイス特性への粒界の影響について考察した.また,TFTとSOI-MOSFETにおける閾値電圧のドレイン電圧依存性を比較検討することによって,TFTの基板浮遊効果に及ぼす粒界の影響について述べた.さらに,TFTにおけるホットキャリアによるデバイス特性劣化機構について議論し,ホットキャリア信頼性に及ぼす粒界の影響について明らかにした.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2004-04-09
著者
-
土屋 敏章
島根大学 総合理工学部
-
佐々木 伸夫
(株)富士通研究所
-
佐々木 伸夫
(株)富士通研究所シリコンテクノロジ研究所
-
佐々木 伸夫
富士通ic事業部
-
Tsuchiya T
National Inst. Advanced Industrial Sci. And Technol. Ibaraki Jpn
-
土屋 敏章
島根大学総合理工学部
-
佐々木 伸夫
富士通研究所
-
Tsuchiya T
Department Of Electronics Doshisha University
-
Tsuchiya Toshiharu
Faculty Of Engineering Shizuoka University
-
Tsuchiya Takenobu
Department Of Electrical Electronics And Information Engineering Kanagawa University
関連論文
- DPSS CWレーザを利用したガラス上の選択単結晶シリコン成長とそのトランジスタ特性
- ナノスケールMOSデバイスにおける界面物性の揺らぎ : 界面トラップ1個1個を検出して評価する
- SOI基板材料の品質評価と技術課題
- 7a-U-4 p型反転層内の表面量子化による横方向電圧の発生
- 3a-R-3 イオン注入されたSiの不純物伝導
- Preparation and characterization of epitaxial VO2 films on sapphire using postepitaxial topotaxy route via epitaxial V2O3 films
- Epitaxial growth of La_Ba_MnO_3 thin films on SrTiO_3 and LaAlO_3 substrates by metal-organic deposition process
- Electrical Properties of La_Ca_MnO_3 Thin Films Obtained by Metal-Organic Deposition (MOD) using Excimer Laser and Thermal Annealing
- Large Temperature Coefficient of Resistance in La_Ca_MnO_3 Thin Films Obtained by Metal Organic Deposition Process
- Low Temperature Growth of Epitaxial La_Sr_MnO_3 Thin Films by an Excimer-Laser-Assisted Coating Pyrolysis Process
- Preparation of Epitaxial YBa_2Cu_3O_/CeO_2 Multilayer Films on Yttria-stabilized Zirconia (100) by All-Coating-Pyrolysis Process : Superconductors
- Preparation of PbTiO_3 Thin Films Using a Coating Photolysis Process with ArF Excimer Laser
- Direct Conversion of Metal Acetylacetonates and Metal Organic Acid Salts into Metal Oxides Thin Films Using Coating Photolysis Process with An ArF Excimer Laser
- Direct Conversion of Titanium Alkoxide into Crystallized TiO_2 (rutile) Using Coating Photolysis Process with ArF Excimer Laser
- Effective-Time of Pulsed Photothermal Heating for Polycrystalline Nucleation of Perovskite Oxide Films from an Amorphous Matrix
- Low-temperature fabrication of red phosphor Ca0.997Pr0.002TiO3 thin film using excimer laser assisted metal organic deposition
- Critical Current Densities at 77 K in Ba_2YCu_3O_-Ag Films Prepared by Dipping-Pyrolysis Process
- Preparation and Superconducting Properties of Bi-Pb-Sr-Ca-Cu-O Films (T_c=106 K) by the Dipping-Pyrolysis Process
- Preparation of Superconducting Ba_2YCu_3O_/Ag Composite Films by the Dipping-Pyrolysis Process Using Metal Naphthenates at 750℃
- SiGe/SiヘテロチャネルMOSFETにおける過渡チャージポンピング特性
- SiGe/SiヘテロMOSFETにおけるヘテロ界面のホットキャリア局所劣化
- SiGe/SiヘテロMOSFETにおけるホットキャリアによるヘテロ界面準位の発生
- BドープSiGe選択CVD成長により形成された極浅ソース・ドレインと高Ge比率歪SiGeヘテロチャネルを有する高性能pMOSFET
- 金属ゲート電極を利用したガラス上の自己整合ダブルゲートCLC poly-Si TFT(有機EL, TFT,及び一般)
- 金属ゲート電極を利用したガラス上の自己整合ダブルゲートCLC poly-Si TFT(有機EL, TFT,及び一般)
- 金属ゲート電極を利用したガラス上の自己整合ダブルゲートCLC poly-Si TFT(有機EL, TFT,及び一般)
- CWレーザ結晶化によるガラス基板上の単結晶Si薄膜トランジスタの形成技術(有機ELとTFT(シリコン、化合物、有機)及びディスプレイ技術)
- CWレーザ結晶化によるガラス基板上の単結晶Si薄膜トランジスタの形成技術(有機ELとTFT(シリコン,化合物,有機)及びディスプレイ技術)
- CWレーザ結晶化によるガラス基板上の単結晶Si薄膜トランジスタの形成技術(有機ELとTFT(シリコン,化合物,有機)及びディスプレイ技術)
- CWレーザー結晶化のディスプレイデバイスへの応用
- エキシマレーザアニールpoly-Si膜におけるレーザ照射雰囲気と照射回数が表面モフォロジーに与える影響(低温または高温多結晶Siとアクティブマトリックス型ディスプレイ用薄膜トランジスタ論文特集)
- CWラテラル結晶化(CLC)技術による移動度500cm^2/Vsを超える新低温ポリSi TFT技術(低温または高温多結晶Siとアクティブマトリックス型ディスプレイ用薄膜トランジスタ論文特集)
- SC-8-4 CWラテラル結晶化(CLC)技術によるガラス基板上高性能TFT
- レーザ結晶化法によるTFT用Si結晶の成長技術(バルク成長分科会特集 : 種結晶(核)からの結晶成長制御について)
- DPSS CWレーザを利用したガラス上の選択単結晶シリコン成長とそのトランジスタ特性
- エキシマレーザ結晶化ポリシリコンの移動度限界
- エキシマレーザ結晶化ポリシリコンの移動度限界
- エキシマレーザー結晶化により作成したポリシリコンの結晶因子とTFT特性の関係
- Low-Frequency Noise in Si_Ge_x p-Channel Metal Oxide Semiconductor Field-Effect Transistors : Semiconductors
- Si_Ge_xチャネルpMOSFETにおける低周波雑音とSi_Ge_x/Siヘテロ構造品質との対応
- Si_Ge_xチャネルpMOSFETにおける低周波雑音とSi_Ge_x/ヘテロ構造品質との対応
- Si_Ge_xチャネルpMOSFETにおける低周波雑音とSi_Ge_x/ヘテロ構造品質との対応
- ソフトエラーシミュレーションシステム
- シリコン量子井戸構造の作製と評価
- シリコン量子井戸構造の作製と評価
- シリコン量子井戸構造の作製と評価
- 低温多結晶シリコンTFTのデバイス特性や信頼性に及ぼす粒界の影響(有機EL, TFT,及び一般)
- 低温多結晶シリコンTFTのデバイス特性や信頼性に及ぼす粒界の影響(有機EL, TFT,及び一般)
- 低温多結晶シリコンTFTのデバイス特性や信頼性に及ぼす粒界の影響(有機EL, TFT,及び一般)
- SOI CMOSデバイス
- SOI CMOSの現状と展望
- SOI CMOSの現状と展望
- SOI CMOSの現状と展望
- 低温ポリシリコンTFTを用いた高性能CMOS技術
- 低温ポリシリコンTFTを用いた高性能CMOS技術
- ガラス/Alメタル基板上のp-Si TFT特性
- ガラス/Alメタル基板上のp-Si TFT特性
- PbSnCaTe Films and PbSnCaTe/PbSnTe Superlattices Prepared by Molecular Beam Epitaxy(Semiconductors)
- PbCaTe Films and PbCaTe/PbTe Superlattices Prepared by Hot-Wall Epitaxy
- Pressure Effect of Sound Speed in the Deep Ocean
- Measurements of Absorption Coefficients in the Deep-Sea Area
- Relationship between Acoustic Bandwidth and Characteristics of Sound Propagation in West Mediterranean Sea
- Lower Lamb Wave Resonance Mode of Thin Cylindrical Shells
- Time-Domain Analysis of SOFAR Propagation in Low-Latitude Sea Area by Wave Theory and Ray Theory
- Radication Power Output for Two-Dimensional Array of Transducers in Water Using Farfield and Nearfield Techniques
- Effect of Thin Cylindrical Shell Vibration on Resonant Frequency of Cylindrical Resonator-Type Sound Source
- Crystal Sructure of Zirconium Oxide Deposited as Thin Films from Zr-acetylacetonate and Zr-ter-butoxide by Laser Chemical Vapor Deposition Technique
- Crystal Structures of the TiO_2 Films on the Quartz Substrate and the Powder formed in the Gaseous Phase by ArF Laser Photolysis of Ti(O-i-C_3H_7)_4
- Epitaxial growth of La0.7Ba0.3MnO3 thin films on SrTiO3 and LaAlO3 substrates by metal-organic deposition (Special issue: Solid state devices and materials)
- バイアス・温度(BT)処理を用いたnMOSFET/SIMOXの特性改善
- In Situ X-Ray Monitoring of Metalorganic Vapor Phase Epitaxy
- Threading Dislocation Reduction in InP on GaAs by Thin Strained Interlayer and its Application to the Fabrication of 1.3-μm-Wavelength Laser on GaAs
- Properties and Degradation of Polarization Reversal of Soft BaTiO_3 Ceramics for Ferroelectric Thin-Film Devices
- Influence of Doping Gradient near a Channel End on Parasitic Series Resistance of Thin-Film Fully-Depleted Metal-Oxide-Semiconductor Field-Effect Transistors
- Body-Charge-Induced Switching Characteristics in Fully Depleted Silicon-on-Insulator Digital Circuits
- Improving the Characteristics of Ultra-Thin-Film Fully-Depleted Metal-Oxide-Semiconductor Field Effect Transistors on SIMOX (Separation by IMplanted OXygen) by Selective Tungsten Deposition on Source and Drain Region
- 300-kilo-Gate Sea-of-Gate Type Gate Arrays Fabricated Using 0.25-μm-Gate Ultra-Thin-Film Fully-Depleted Complementary Metal-Oxide-Semiconductor Separation by IMplanted OXygen (CMOS/SIMOX) Technology with Tungsten-Covered Source and Drain
- Numerical Analysis of Underwater Acoustic Lens Using Wide-Angle Parabolic Equation Method
- Preparation and Characterization of Ferroelectric BaTi_(Hf_ Zr_)_O_3 Thin Films by Sol-Gel Process Using Titanium and Zirconium Alkoxides
- Lifetime and Degradation Mechanism of Multilayer Ceramic Actuator
- ロジックとの混載に適した反転スタックキャパシタ(RSTC)DRAMセル構造の提案
- C-031 特定用途向け動的再構成回路の演算器精度最適化に関する研究(ハードウェア・アーキテクチャ,一般論文)
- Search for Objects on the Deep-Sea Floor Using Side Scan Sonar with a Tilted Arrangement Transducer Array
- Sea Trial Results of a Cross Fan Beam Type Sub-Bottom Profiler
- フィールド酸化膜ストッパ型貼り合わせSOI基板の作製とMOSFETの評価
- Evaluation of the Performance of Deep Sea Survey Sonars from the Results of Search for a Sunken Ship
- 低消費電カ・高速CMOS/SOIテバイス技術
- Wide-Angle Parabolic Equation Solution of Ocean Acoustic Propagation with Lossy Penetrable Bottom
- Numerical Analysis of Acoustical Propagation in Ocean with Warm and Could Water Mass Used by The Three-Dimensional Wide-Angle Parabolic Equation Method
- Numerical Analysis of Long Range Acoustic Propagation Based on Wide Angle Parabolic Wave Equation
- Three-Dimensional Ray Simulation of Sound Propagation in Ocean with a Geostrophic Current
- Optical Measurement System of Sound Pressure with Refracted Laser Light Propagated through an Acoustic Field
- Estimation of Receiving Waveform of Ultrasonic Aerial Back Sonar Calculated by Finite Difference Time Domain Method (Short Note)
- Numerical Analysis of Acoustical Propagation Characteristics in Central Equatorial Pacific Ocean with Ridges of Seabed Used by Three-Dimensional Parabolic Equation Method
- A Sound Intensity Probe Using the Nonlinear Behaviors of Sound Wave : Acoustical Measurements and Instrumentation
- Measurements of Non-Interacting Angle in the Scattering of Sound by Sound for Gases : Acoustical Measurements and Instrumentation
- Parametric Receiving Array as a Practical Sound Receiver : Ultrasonic Transduction
- 発光素子などで新たな応用展開期に入った導電性ポリマー (特集 機能性材料の開発・応用動向)
- Basic Study of Properties of Planate Acoustic Lens Constructed with Phononic Crystal Structure (Special Issue : Ultrasonic Electronics)
- Transmission electron microscopy study on the effects of the ultrasound contrast agent Levovist on hepatic cells